潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)的防微設(shè)計 

有防微振要求的潔凈廠房建筑物結(jié)構(gòu)設(shè)計時，應(yīng)根據(jù)建筑物內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝布置及其對防微振有嚴(yán)格要求的部位、設(shè)備的設(shè)置狀況和輔助設(shè)施—公用動力設(shè)施的布置以及振動或隔振措施狀況等，并應(yīng)密切配合做建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計。建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計應(yīng)依據(jù)不同行業(yè)、不同工序或不同設(shè)備的要求，按設(shè)計流程進(jìn)行，建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計內(nèi)容有建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)和主體結(jié)構(gòu)等的防微振設(shè)計。在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》中對有微振控制要求的建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)、主體結(jié)構(gòu)以及精密設(shè)備儀器的獨立基礎(chǔ)等的防微振措施作出了較詳細(xì)的規(guī)定:有防微振要求的潔凈廠房等建筑物內(nèi)的設(shè)備布置時應(yīng)做到，精密設(shè)備及儀器與動力設(shè)備的布置較靠近時，應(yīng)對動力設(shè)備采取隔振措施;當(dāng)樓層布置精密設(shè)備或儀器時，動力設(shè)備應(yīng)布置在底層或樓層邊跨，并應(yīng)在樓層與精密設(shè)備或儀器所在區(qū)域隔離;通常不應(yīng)將精密設(shè)備及儀器布置在受電梯振動影響的范圍內(nèi);當(dāng)樓層布置精密設(shè)備及儀器時，其位置宜位于梁、墻、柱等結(jié)構(gòu)剛度較大的部位或附近。當(dāng)建筑物為多層廠房時不宜設(shè)置起重設(shè)備，若必須設(shè)置起重設(shè)備時，宜采用懸臂式起重設(shè)備或其他振動影響較小的運(yùn)輸工具。設(shè)置在有防微振要求的建筑物內(nèi)的動力設(shè)備及產(chǎn)生振動的管道進(jìn)入防微振區(qū)域時，應(yīng)采取隔振措施。

潔凈廠房建筑物的防微振結(jié)構(gòu)形式多樣，通常應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求和建筑物的建筑結(jié)構(gòu)等確定。對建筑物地基基礎(chǔ)的防微振設(shè)計主要要求:抗震設(shè)防烈度為7度、8度的地區(qū)，建筑物基礎(chǔ)持力層范圍內(nèi)存在承載力特征值分別小于80kPa、100kPa的軟弱黏土層時，應(yīng)采用樁基或人工處理復(fù)合地基。采用復(fù)合地基時，應(yīng)按國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》和《建筑地基處理技術(shù)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行載荷試驗和地基變形驗算;防微振廠房同一結(jié)構(gòu)單元的基礎(chǔ)不宜埋置在不同類別的地基土上。這里所指的軟弱黏土層主要是淤泥、淤泥土、沖填土、雜填土或其他高壓縮土層，這類土層支承載力低、壓縮性大，基礎(chǔ)沉降量大，容易產(chǎn)生不均勻沉降，使地坪、樓面、墻體等產(chǎn)生裂縫。精密設(shè)備、儀器有較嚴(yán)格的防微振要求，一般應(yīng)選擇樁基穿透軟弱黏土層，若采用人工處理復(fù)合地基時，處理深度也應(yīng)穿透軟弱黏土層。地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計應(yīng)該滿足的要求是:集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器制造廠房、納米科技建筑及實驗室應(yīng)按防微振要求設(shè)置厚板式鋼筋混凝土地面。當(dāng)采用天然地基時，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于500mm，地基土應(yīng)夯壓密實，壓實系數(shù)不得小于0.95。當(dāng)采用樁基支承的結(jié)構(gòu)地面時，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于400mm，對于軟弱土地區(qū)，不宜小于500mm;對于欠固結(jié)土，宜采取防止樁間土與地面結(jié)構(gòu)底部脫開的措施;當(dāng)?shù)孛鏋槌L混凝土結(jié)構(gòu)時，不宜設(shè)置伸縮縫,可采用超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計措施。地面或底板結(jié)構(gòu)采用厚板，提高了地面的整體剛度，工程實踐證明，這對于防微振是非常有效的。當(dāng)采用樁基支承的地面結(jié)構(gòu)時，由于地面與樁連成了一個整體，因此其厚度可以適當(dāng)減薄;對于欠固結(jié)土，宜在澆筑底板結(jié)構(gòu)前，將樁間夯壓密實。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、潔凈室等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

有防微振控制要求的潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計通常應(yīng)該符合下面的要求:集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器件制造廠房、光伏太陽能制造廠房、納米科技建筑及各類實驗室等所在建筑物的主體結(jié)構(gòu)宜采用小跨度柱網(wǎng)，工藝設(shè)備層平臺宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，平臺與周圍結(jié)構(gòu)之間宜設(shè)置隔振縫。工藝設(shè)備層的鋼筋混凝土平臺一般均采用小跨度柱網(wǎng)，如3.0m、3.6m、4.2m、4.8m，最大不超過6.0m，柱網(wǎng)尺寸應(yīng)以0.6m為模數(shù);為提高鋼筋混凝土平臺的整體剛度，從而提高其固有振動頻率，防微振工藝設(shè)備層平臺通常采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土梁板式或井式樓蓋結(jié)構(gòu)，亦可采用鋼框架組合樓板結(jié)構(gòu)。當(dāng)采用混凝土平臺時，其現(xiàn)澆梁、板、柱截面的最小尺寸應(yīng)該比非防微振工藝設(shè)備層平臺提高25%~40%，從而提高了工藝設(shè)備層平臺的整體剛度，工程實踐表明這對于防微振是十分有效的，現(xiàn)澆鋼筋混凝土平臺的梁、板、柱截面的最小尺寸。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計技術(shù)還應(yīng)加強(qiáng)縱向梁(墻)、板的縱向通長鋼筋，一般縱向框架梁上部的通長鋼筋不應(yīng)小于支座或跨中鋼筋截面面積的1/4，每側(cè)溫度構(gòu)造鋼筋的最小配筋率不宜小于0.2%;混凝土墻體水平縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%。樓板、屋面板縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%，屋面板一般采用雙層配筋，且溫差較大時應(yīng)適當(dāng)增加配筋。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計技術(shù)應(yīng)加強(qiáng)保溫隔熱措施，做好屋面和墻面的保溫隔熱層，既是建筑節(jié)能措施，也是降低溫度應(yīng)力的主要途徑，對于潔凈廠房尤為重要。精密設(shè)備及儀器的獨立基礎(chǔ)對沉降控制的要求比建筑物基礎(chǔ)更為嚴(yán)格，為此，地面設(shè)置的精密設(shè)備及儀器基礎(chǔ)底面應(yīng)設(shè)在堅硬土層或基巖上，當(dāng)基礎(chǔ)底面持力層的承載力特征值達(dá)不到300kPa時，應(yīng)采用樁基礎(chǔ)或人工處理復(fù)合地基。若精密設(shè)備及儀器受中低頻振動影響敏感時，基礎(chǔ)周圍可不設(shè)隔振溝;精密設(shè)備及儀器的基臺采用框架式支承時，通常采用鋼筋混凝土框架，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，其周邊應(yīng)設(shè)隔振縫;工藝設(shè)備層平臺上設(shè)置的精密設(shè)備、儀器一般用防微振基臺，臺板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，厚度宜大于200mm。

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