微振控制的潔凈廠房設(shè)計

       微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定，在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動隔振措施。應(yīng)測定潔凈廠房內(nèi)、外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。有微振控制要求的潔凈廠房，設(shè)計應(yīng)考慮建筑結(jié)構(gòu)的選型及地面(樓面)的構(gòu)造做法，如增加基礎(chǔ)及上部結(jié)構(gòu)垂直及橫向剛度，增加地面(樓面)剛度，能有效減小振動影響。此外，還應(yīng)考慮隔振縫設(shè)置及其有效的構(gòu)造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動傳遞。即減小了對精密設(shè)備、儀器儀表的振動影響。在潔凈廠房設(shè)計中，應(yīng)首先考慮對強(qiáng)振源采取隔振措施，以減小強(qiáng)振源對精密設(shè)備、儀器儀表的振動影響，在此基礎(chǔ)上，精密設(shè)備、儀器儀表再根據(jù)各自的容許振動值采取被動隔振措施，就大致能夠達(dá)到預(yù)定目的。精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供；當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時，可按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)具備下列條件:周圍振源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)，設(shè)備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖，設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩，設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預(yù)埋件位置等；設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求，設(shè)備、儀器儀表的容許振動值；所選用或設(shè)計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。

      精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定，隔振臺座應(yīng)具有足夠的剛度，隔振臺座應(yīng)采取傾斜校正措施。隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15，隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型，精密設(shè)備、儀器儀表的被動隔振措施，由隔振臺座及隔振器(或隔振裝置)組成。根據(jù)隔振設(shè)計計算需要，設(shè)定隔振臺座為不變形剛體，為此應(yīng)對隔振臺座的形狀、幾何尺寸及材質(zhì)選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。某些精密設(shè)備、儀器儀表在運(yùn)行時，由于移動部件位置變化或加工、測試件的質(zhì)量及質(zhì)心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發(fā)生傾斜，導(dǎo)致精密設(shè)備、儀器儀表難以正常工作。為此，應(yīng)設(shè)置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設(shè)備、儀器儀表的正常運(yùn)行。隔振系統(tǒng)阻尼過小，會產(chǎn)生較大的自振，以及受外界突發(fā)干擾(如對隔振臺座的沖擊、室內(nèi)氣流的擾動影響等)，造成隔振臺座晃動，這種振動值有時會大于精密設(shè)備、儀器儀表的容許振動值，影響其正常運(yùn)行。為此應(yīng)增大隔振系統(tǒng)阻尼值，才能減小此類振動。通過多項工程實踐表明，隔振系統(tǒng)阻尼比不小于0.15是比較恰當(dāng)?shù)?。精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的的氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理?？諝鈴椈傻拇怪毕?、橫向剛度很低，使隔振系統(tǒng)具有很低的固有振動頻率，同時它具有可調(diào)節(jié)阻尼值的特性，隔振系統(tǒng)可獲得需要的阻尼，因此，隔振系統(tǒng)具有良好的隔振效果。當(dāng)配用高精度控制閥時，可自動校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優(yōu)越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設(shè)備、儀器儀表的隔振元件。用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時會排出氣體(如壓縮空氣、氮?dú)獾?/span>)，因此對氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈廠房、無塵廠房等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

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